* 재질: 호스: SUS304, SUS316L * NW 플랜지: SUS304, SUS316L * 작동 압력: 진공~대기압 * 진공 범위: 1x10-9 Torr ...
문의VBG01 시리즈 고진공 버터플라이 밸브는 단결정 실리콘 웨이퍼 생산에 사용되는 결정 성장로에서 널리 사용됩니다. 이 밸브는 1.3*10⁻⁵ Pa까지 낮은 매우 낮은 파이프 압력에서 누출이 전혀 없습니다. 단조 스테인레스 스틸 몸체와 특수 밀봉 구조 설계로 밸브의 긴 수명을 보장합니다.
밸브 본체 재질 | SS304/SS316L | |
시트 씰 재질 | 옵션에 FKM, NBR | |
진공 범위 | 105-6.7x10-5 Pa | |
누출율 | 1.3x10-5 Pa. L/초 | |
서비스까지의 주기 | 80,000회 | |
앵글 오프닝 | 0-90도 | |
온도 범위 | FKM 시트 씰 | -30°C ~ 150°C(대략) |
NBR 시트 씰 | -25°C ~ 80°C(대략) | |
움직이는 | 수동, 공압식 액츄에이터, 전동 액츄에이터 | |
압축공기 | 0.4-0.8Mpa | |
운영 시간 | 알루미늄 액추에이터 | ≤3S |
전동액추에이터 온-오프형 | 표준 30S. 10S, 15S 옵션 | |
솔레노이드 전압 | 표준: AC220V,50Hz,6W 선택: AC110V, DC24V, DC12V |
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공압식 액츄에이터 | 표준: 복동식 선택 사항: 1. 평상시 닫힘 2. 평상시 열림 |
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전동 액추에이터 | 표준: On-off 유형 옵션: 조절 제어 유형 |
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위치 표시기와 함께 사용 가능 | 선택적 신호 피드백 |
304용 모델 | 크기 | D/mm | D0/mm | B/mm | H/mm | B1/mm | L/mm | |
VBG04H2431S63NN | ISO63 | 130 | 110 | 26 | 128.5 | 45 | 135 | |
VBG04H2431S100NN | ISO100 | 165 | 145 | 30 | 152.5 | 45 | 135 | |
VBG04H2431S160NN | ISO160 | 225 | 200 | 35 | 180.5 | 45 | 165 | |
VBG04H2431S200NN | ISO200 | 285 | 260 | 40 | 213 | 45 | 185 |
304용 모델 | 크기 | D/mm | D0/mm | D1/mm | B/mm | H/mm | B1/mm | L/mm | n-Øc |
VBG01H2432032NN | DN32 | 78 | 64 | 36 | 22 | 102 | 45 | 115 | 4-Ø7 |
VBG01H2432040NN | ND40 | 85 | 70 | 44 | 22 | 106 | 45 | 115 | 4-Ø7 |
VBG01H2432050NN | DN50 | 110 | 90 | 55 | 22 | 118 | 45 | 115 | 4-ø9 |
VBG01H2432065NN | DN65 | 125 | 105 | 70 | 26 | 126 | 45 | 135 | 4-ø9 |
VBG01H2432080NN | DN80 | 145 | 125 | 85 | 30 | 135 | 45 | 135 | 4-ø9 |
VBG01H2432100NN | DN100 | 170 | 145 | 105 | 30 | 150 | 45 | 135 | 8-Ø12 |
VBG01H2432125NN | DN125 | 195 | 170 | 131 | 35 | 165 | 45 | 165 | 8-Ø12 |
VBG01H2432150NN | DN150 | 220 | 195 | 156 | 35 | 178 | 45 | 165 | 8-Ø12 |
VBG01H2432200NN | DN200 | 275 | 250 | 208 | 40 | 208 | 45 | 165 | 8-Ø12 |
VBG01L1432250NN | DN250 | 330 | 300 | 258 | 45 | 262 | 127 | Ø160 | 8-Ø14 |
VBG01L1432300NN | DN300 | 380 | 350 | 308 | 55 | 287 | 127 | Ø160 | 8-Ø14 |
VBG01L1432400NN | DN400 | 500 | 465 | 408 | 60 | 361 | 175 | Ø200 | 8-Ø18 |
VBG01L1432500NN | DN500 | 600 | 565 | 510 | 80 | 447 | 175 | Ø200 | 12-Ø18 |
304용 모델 / 복동식 | 크기 | D/mm | D0/mm | D1/mm | B/mm | H/mm | B1/mm | L/mm | n-Øc | |
VBG01AD432040NN | ND40 | 85 | 70 | 44 | 22 | 180 | 90 | 152 | 4-Ø7 | |
VBG01AD432050NN | DN50 | 110 | 90 | 55 | 22 | 195 | 90 | 152 | 4-Ø7 | |
VBG01AD432065NN | DN65 | 125 | 105 | 70 | 26 | 200 | 90 | 152 | 4-ø9 | |
VBG01AD432080NN | DN80 | 145 | 125 | 85 | 30 | 208 | 90 | 152 | 4-ø9 | |
VBG01AD432100NN | DN100 | 170 | 145 | 105 | 30 | 225 | 90 | 152 | 8-Ø12 | |
VBG01AD432125NN | DN125 | 195 | 170 | 131 | 35 | 256 | 115 | 185 | 8-Ø12 | |
VBG01AD432150NN | DN150 | 220 | 195 | 156 | 35 | 272 | 115 | 185 | 8-Ø12 | |
VBG01AD432200NN | DN200 | 275 | 250 | 208 | 40 | 325 | 125 | 230 | 8-Ø12 | |
VBG01AD432250NN | DN250 | 330 | 300 | 258 | 45 | 355 | 125 | 230 | 8-Ø14 | |
VBG01AD432300NN | DN300 | 380 | 350 | 308 | 55 | 380 | 125 | 230 | 8-Ø14 | |
VBG01AD432400NN | DN400 | 500 | 465 | 408 | 60 | 490 | 180 | 308 | 8-Ø18 | |
VBG01AD432500NN | DN500 | 600 | 565 | 510 | 80 | 585 | 210 | 378 | 12-Ø18 | |
VBG01AD432600NN | DN600 | 710 | 670 | 610 | 100 | 760 | 270 | 524 | 12-Ø21 | |
VBG01AD432800NN | DN800 | 920 | 880 | 815 | 130 | 962 | 320 | 648 | 20-Ø21 | |
VBG01AD4321000NN | DN1000 | 1120 | 1090 | 1015 | 140 | 980 | 385 | 1480 | 32-Ø14 | |
VBG01AD4321200NN | DN1200 | 1440 | 1404 | 1280 | 150 | 1360 | 385 | 1480 | 36-Ø19 |
304용 모델 | 크기 | D/mm | D0/mm | D1/mm | B/mm | H/mm | B1/mm | L/mm | n-Øc | |
VBG01E1432040NN | ND40 | 85 | 70 | 44 | 22 | 205 | 125 | 155 | 4-Ø7 | |
VBG01E1432050NN | DN50 | 110 | 90 | 55 | 22 | 218 | 125 | 155 | 4-Ø7 | |
VBG01E1432065NN | DN65 | 125 | 105 | 70 | 26 | 224 | 125 | 155 | 4-ø9 | |
VBG01E1432080NN | DN80 | 145 | 125 | 85 | 30 | 235 | 125 | 155 | 4-ø9 | |
VBG01E1432100NN | DN100 | 170 | 145 | 105 | 30 | 247 | 125 | 155 | 8-Ø12 | |
VBG01E1432125NN | DN125 | 195 | 170 | 131 | 35 | 260 | 125 | 155 | 8-Ø12 | |
VBG01E1432150NN | DN150 | 220 | 195 | 156 | 35 | 272 | 125 | 155 | 8-Ø12 | |
VBG01E1432200NN | DN200 | 275 | 250 | 208 | 40 | 320 | 157 | 208 | 8-Ø12 | |
VBG01E1432250NN | DN250 | 330 | 300 | 258 | 45 | 350 | 157 | 208 | 8-Ø14 | |
VBG01E1432300NN | DN300 | 380 | 350 | 308 | 55 | 375 | 157 | 208 | 8-Ø14 | |
VBG01E1432400NN | DN400 | 500 | 465 | 408 | 60 | 451 | 182 | 256 | 8-Ø18 | |
VBG01E1432500NN | DN500 | 600 | 565 | 510 | 80 | 535 | 182 | 256 | 12-Ø18 | |
VBG01E1432600NN | DN600 | 710 | 670 | 610 | 100 | 760 | 220 | 280 | 12-Ø21 | |
VBG01E1432800NN | DN800 | 920 | 880 | 815 | 130 | 960 | 220 | 280 | 20-Ø21 | |
VBG01E1432900NN | DN900 | 1040 | 990 | 915 | 130 | 970 | 250 | 350 | 24-Ø23 | |
VBG01E14321000NN | DN1000 | 1120 | 1090 | 1015 | 140 | 980 | 250 | 350 | 32-Ø14 |
환기 밸브, 차단 밸브, 고진공 밸브로 사용되는 버터플라이 밸브는 구조가 간단하고 반도체 공구의 진공 배기 라인에 설치할 수 있습니다. 버터플라이 밸브는 컴팩트한 디자인과 높은 전도성이 특...
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